弾性波素子技術コンソーシアム 新学校シリーズ
弾性波素子技術 夏の学校
主 催 弾性波素子技術コンソーシアム
この学校シリーズは、弾性波素子技術第150委員会の主催で主に弾性波素子技術に関わるエンジニア向けに理論と理論の実践を教える1日集中講義としてはじまり、2020年9月に設立された弾性波素子技術研究コンソーシアムがそれを引き継いでいます。最近は、毎回、200名近くの受講者が参加します。
学校シリーズでは、毎回、講義する話題を絞り（概論に終わらず）、基礎から専門的な内容までを含めるようにし、受講者の多くが「やや難しい〜丁度よい」と感じる難度を目指しています。今回の講師は渡部泰明教授（東京都立大学）と鈴木雅視助教（山梨大学）です。渡部先生の講義は水晶デバイス全般に関するもので、学校シリーズでは初めて取り上げます。それに合わせて私がMEMSタイミングデバイスに関する講義をします。鈴木先生の講義はBAWデバイスに関するもので、Maison等価回路とFEMの基礎から始まり、それらの分極反転多層膜BAW共振子への適用までを解説します。続いて分極反転多層膜の形成法や評価法も取り上げます。
多くのデバイスメーカーでは、設計、材料開発、プロセス開発、テストなどが分業化されていると思いますが、エンジニアとして一段高いレベルを目指すには、自らの担当以外の技術を知ることが必要です。これらの講義を聴講することで、日々の業務をより実りあるものにして頂ければと思います。なお、今回は9:00に開始し、いつもと開講時間が異なりますので、お気を付けください。（世話人：田中秀治＝東北大学）
アンケート 2024年9月25日までに回答してください。
日 時 2024年9月20日（金） 9:00〜16:00
会 場 ZoomまたはTeams
※接続先と参加パスワードは参加登録者にお知らせします。
受講料 コンソーシアム委員 無料
コンソーシアム会員企業に所属する方 無料
学生 無料
大学・公的機関に所属する学生以外の方 5,000円/人
その他 50,000円/人
内 容
9:00〜10:00 MEMSタイミングデバイス 講義資料
講師 田中 秀治（東北大学）
本学校シリーズでは今まで弾性波フィルター中心に講義してきたので、タイミングデバイスを取り上げるのは初めてです。そこで、渡部先生の講義に先立ち若干の導入を行うとともに、特にMEMSタイミングデバイスの勘所と実例を解説します。
10:00〜10:10 休憩
10:10〜11:10 水晶デバイス − 歴史・設計法・評価法・発振回路（前半） 講義資料
講師 渡部 泰明（東京都立大学）
移動体通信、計測機器、自動車等に搭載される圧電振動子の中でも、水晶振動子はタイミングデバイスとして非常に多く用いられています。本講義では、まず水晶振動子の歴史を学び、続いてそのシミュレーション技法、可視化法、発振回路などについて学びます。可視化法については、一般的な干渉計とレーザスペックル干渉計を取り上げます。発振回路については、特にコルピッツ発振器とバトラー発振器における回路技術を取り上げます。
11:10〜11:20 休憩
11:20〜12:20 水晶デバイス − 歴史・設計法・評価法・発振回路（後半）
講師 渡部 泰明（東京都立大学）
12:20〜13:00 昼休み
13:00〜14:00 BAW共振子の解析法と成膜法 − 分極反転多層膜弾性波デバイスを例にして（前半） 講義資料
講師 鈴木 雅視（山梨大学）
BAW共振子を高周波動作させるためにはデバイス体積を小さくする必要がありますが、小体積化によるデバイス特性の劣化が予想されます。本講義では、「高周波動作」と「デバイス体積の維持」を両立する分極反転多層膜を用いたBAW共振子を取り上げます。初めにMason等価回路モデルとFEMの基礎を説明し、それらの分極反転多層膜BAW共振子への適用法、実際の解析結果、およびそれからわかる特徴を説明します。続いてAlN系膜での分極制御、分極反転多層膜の形成、およびそれらを用いたBAW共振子の試作・評価について解説します。
14:00〜14:10 休憩
14:10〜15:10 BAW共振子の解析法と成膜法 − 分極反転多層膜弾性波デバイスを例にして（後半）
講師 鈴木 雅視（山梨大学）
15:10〜15:20 休憩
15:20〜16:00 フォローアップセッション
司会 田中 秀治（東北大学）
申込法
2024年9月11日（水）までに、弾性波素子技術研究コンソーシアムの委員がいる企業や研究室からは、委員が受講者を取りまとめてお申込み下さい。それ以外の企業や研究室からは、代表者が参加者を取りまとめてお申込み下さい。事務局が混乱しますので、参加者各位からのお申込みや問合せはお控え下さい。お申込みにあたっては、参加者の氏名、所属、および電子メールアドレスをExcelファイル（任意形式）にまとめて、以下の問合先にお送り下さい。オンライン開催では、講師にはどのような方が受講されているのかわかりませんので、頂いた情報をもとに受講者名簿を作成して講師に配布します。氏名と所属に加えて任意で業務内容と経験年数を記入頂けますと、質疑の際の助けになるかもしれません。
受講料は指定口座にお振込み頂きますが、詳細は事務局から申込者にご連絡します。また、講義資料は電子ファイルで配布します。申込締切後に本ページに講義資料へのリンクを用意しますので、そこからダウンロードして下さい。電子ファイルを開くためのパスワードは、各参加登録者に電子メールでお知らせします。
問合先
東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 田中(秀)研究室
相原 友子（弾性波素子技術コンソーシアム事務局）
Tel: 022-795-6934
E-mail: [email protected]